Специальное оборудование для нанотехнологий - оборудование, необходимое для осуществления различных видов работ на атомарном и молекулярном уровнях с целью получения, модификации, производства, измерения и контроля свойств нанопродуктов, а также специальное оборудование для медицины. Например, атомно-силовой микроскоп; оборудование для эпитаксиального роста; химико-технологическое оборудование для придания текстильным изделиям антибактериальных или электропроводящих свойств
Источник: Приказ Росстата от 08.02.2010 № 83 "Об утверждении статистического инструментария для организации статистического наблюдения за деятельностью предприятий и организаций в сфере нанотехнологий"